古为雍州之域，秦属内史地，西汉景帝二年（前115年）于今孙塬镇河东堡西侧，始置祋祤县，三国魏黄初元年（220年）徒甘肃之泥阳侨置于祋祤，改祋祤为泥阳县，隶北地郡并兼为北地郡治。隋开皇六年（586年）泥阳县更名华原县并移治今城区。唐垂拱二年（686年）为避武则天祖讳，华原县改称永安县，神龙元年（705年）复名华原县。唐天祐三年（907年）李茂贞改华原县置耀州。元属奉元路。明、清属西安府。1913年废州，设立耀县，属关中道。
1949年10月属三原分区，辖庙湾、柳林、瑶曲、龙首、安王、小丘、袁文、孝义、照金、城关、石人、寺沟12个区，74个乡。1950年5月属咸阳专区，撤销龙首、庙湾、安王3区，辖9个区，63个乡。1953年1月属渭南专区，撤销石人区，辖8个区，53个乡。1956年2月撤区并乡，辖城关镇和柳林、瑶曲、小丘、照金4个区及王益、寺沟、稠桑、郭家、孙塬等6个直属乡。1956年10月属省。1958年9月撤销区乡建制，成立红旗、五星、楼村、小丘、照金、柳林、瑶曲、王益8个人民公社；同年12月撤销耀县并入铜川市，下设耀城、小丘、柳林3个人民公社，有20个管理区。1961年8月复设耀县，仍属渭南专区，下设城关、孙塬、寺沟、稠桑、下高埝、柳林、瑶曲、安里、小丘、阿子、照金、白瓜、楼村13个人民公社。1964年6月城关人民公社改设为镇。1965年6月划入原铜川市演池、石柱、王家贬3个人民公社，共辖1个镇、15个人民公社。1969年属渭南地区。1980年1月属铜川市。1983年5月撤销人民公社，辖1镇15乡。1984年9月撤销照金、瑶曲、王家砭3乡，分别设立照金镇、瑶曲镇、董家河镇。1985年1月柳林乡一部分划出，设立庙湾镇，辖5镇12乡；1995年6月撤销柳林乡，设立柳林镇。1996年6月市政府设立新区管委会，将下高埝乡划归新区管委会。1997年10月撤销稠桑、小丘2乡，分别设立关庄镇、小丘镇。1998年10月撤销楼村乡，设立坡头镇。2001年12月撤销阿子乡并入关庄镇。2002年6月撤销耀县建制，设立耀州区。同年11月撤销白瓜、安里2乡，分别并入小丘镇和柳林镇。2005年7月撤销城关镇，分设永安路、天宝路2街道办事处。2011年7月撤销寺沟镇，设立锦阳路街道办事处。2011年7月撤销柳林镇建制，并入照金镇。2012年元月将坡头镇划入新区管委会。2012年7月撤销石柱乡，设立石柱镇。2015年3月撤销演池乡，并入石柱镇，设立石柱镇演池便民服务中心。2016年镇村综合改革撤并61个行政村后为117个行政村。截至目前，共辖3个街道、8个镇、117个村、12个社区。
